財聯(lián)社11月6日訊（編輯 馬蘭）日本佳能公司在納米壓印技術(shù)上的突破，有望成為芯片光刻機老大荷蘭ASML的挑戰(zhàn)者，這對小型半導(dǎo)體制造商來說尤其值得期待。

佳能首席執(zhí)行官Fujio Mitarai最近表示，該公司的納米壓印設(shè)備價格將比ASML的光刻機少一位數(shù)，但目前還未決定其最終定價。與此同時，佳能機器所需要的功耗僅為光刻機的十分之一。

據(jù)此前消息，ASML的新旗艦光刻機價值約4億美元，近人民幣27億元。其功耗則可能飆升至兩百萬瓦，比當(dāng)前光刻機的額定耗電量還要高出一倍。

在擁有全球最多光刻機的臺積電，80臺功耗一百萬瓦的光刻機已讓臺積電能源消耗占到全臺灣地區(qū)的12.5%，若其引入更新的下一代光刻機，臺積電的耗電量將更加恐怖。

佳能新設(shè)備的上市無疑能夠打破由少數(shù)現(xiàn)金充裕的頭部公司壟斷芯片制造的局面，小公司或許不再需要通過代工廠商來進(jìn)行芯片生產(chǎn)，這對促進(jìn)芯片競爭有著極為關(guān)鍵的作用。

無法取代，另辟戰(zhàn)場

88歲的Mitarai指出，納米壓印技術(shù)不太可能超越ASML的光刻機，但其將創(chuàng)造新的機會和需求，已經(jīng)有很多客戶提出采購意向。

納米壓印是一種微納加工技術(shù)，它采用傳統(tǒng)機械模具微復(fù)型原理，能夠代替?zhèn)鹘y(tǒng)且復(fù)雜的光學(xué)光刻技術(shù)。簡單而言，像蓋章一樣造芯片，把柵極長度只有幾納米的電路刻在印章上，再將印章蓋在橡皮泥上，得到與印章相反的圖案，經(jīng)過脫模就能夠得到一顆芯片，這里的橡皮泥是指納米壓印膠，印章即模板。

近十年來，佳能一直與大日本印刷公司和存儲芯片制造商Kioxia Holdings合作開發(fā)納米壓印技術(shù)。與通過反射光工作的極紫外光刻（EUV）技術(shù)不同，納米壓印技術(shù)將電路圖直接壓印到晶圓上，且因其不使用鏡頭，可以用比現(xiàn)有曝光工藝更低的成本實現(xiàn)精細(xì)化生產(chǎn)芯片。

不過，納米壓印雖然仍能銜接最先進(jìn)的生產(chǎn)工藝要求，但在速度上較光刻機遜色不少。因此，ASML光刻機仍是當(dāng)今世界最先進(jìn)的芯片制造機器，也是批量生產(chǎn)快速、節(jié)能芯片的首選設(shè)備。

佳能機器更像是為小型芯片生產(chǎn)商提供的選擇，同時也能讓臺積電和三星電子等大型代工商更容易生產(chǎn)小批量芯片，從而節(jié)約成本。

據(jù)悉，佳能正在建設(shè)自己的第一家納米壓印設(shè)備工廠，預(yù)計將在2025年上線。自今年年初以來，佳能股價已經(jīng)累計上漲了27%，而另一家競爭對手尼康股價也上漲了24%，但該公司的光刻機設(shè)備競爭力遠(yuǎn)不及ASML。